多晶硅廢水處理設備需要綜合考慮污水中的各種有機物、無機物、微生物等成分，為了評價準確可靠，需要進行全方面的指標檢測。一些常見的廢水處理設檢測指標包括：
　　1、PH值
　　一般來講， PH值測量就是用來確定某種溶液的酸堿度。在水中加入酸，水的 酸度便會提高， 而 PH值降低；在水中加入堿， 水的堿度便會提高， 而 PH值升高。 PH值是用來表示酸堿度的單位。
　　2、化學需氧量（ COD）

　　化學需氧量 （COD）指在一定條件下， 水中的有機物與強氧化劑重鉻酸鉀作用 時所消耗的氧的量。 用重鉻酸鉀作為氧化劑時， 水中的有機物幾乎可以全部被氧 化，這時氧消耗量即稱化學需氧量，簡稱 COD。

　　3、生物化學需氧量（ BOD）
　　生物化學需氧量 （BOD）是一個反映水中可生物降解的含碳有機物的含量及排 到水體后所產生的耗氧影響指標。 它指在有氧的條件下， 由于微生物的活動， 將 水中的有機物氧化分解所消耗的氧的量，稱生化需氧量（ Biochemical Oxygen  Demand），簡稱 BOD。BOD越高，表示污水中可生物降解的有機物越多。
　　4、溶解氧（ DO）
　　溶解氧是指溶解在水里氧的量，通常記作 DO，用每升水里氧氣的毫克數表示。水中溶解氧的多少是衡量水體自凈能力的一個指標。它跟空氣里氧的分壓、 大氣壓、水溫和水質有密切的關系。
　　5、懸浮物（ SS）
　　水中未溶解的非膠態的固體物質， 在條件適宜時可以沉淀。 懸浮固體分為有機 性和無機性兩類，反映污水匯入水體后將發生的淤積情況，其含量的單位為 mg/L。因懸浮固體在污水中肉眼可見，能使水渾濁，屬于感官性指標。
　　6、氨氮（ NH3—N）
　　氨氮是水中以 NH3和 NH4 ＋形式存在的氮，它是有機氮化物氧化分解的產物。氨氮不僅會促使水體中藻類的繁殖， 而且游離的 NH3對魚類有很強的毒 性，致死魚類的濃度在 0.2—2.0mg/L 之間。氨也是污水中重要的耗氧物質，在 消化細菌的作用下，氨被氧化成 NO2－和 NO3－，所消耗的氧量稱消化需氧量。
　　7、總氮（ TN）
　　為水中有機氮、氨氮和總氧化氮（亞硝酸氮及硝酸氮之和）的總和。有機污 染物分植物性和動物性兩類：城市污水中植物性有機污染物如果皮、蔬菜葉等， 其主要化學成分是碳（ C），由 BOD 5表征；動物性有機污染物質包括人畜糞便、 動物組織碎塊等，其化學成分以氮（ N）為主。氮屬于植物性營養物質，是導致 湖泊、海灣、水庫等緩流水體富營養化的主要物質， 成為多晶硅廢水處理設備的重要控制指標。
　　8、總磷（ TP）
　　總磷是污水中各類有機磷和無機磷的總和。與總氮類似，磷也屬植物性營養 物質，是導致緩流水體富營養化的主要物質。 受到人們的關注， 成為一項重要的 水質指標。
　　9、總有機碳（ TCO）
　　總有機碳是指樣品中溶解性和懸浮性有機物含碳的總量，它是沼氣的來源， 用 mg/L 或 mg/kg 表示。
　　多晶硅廢水處理設備需要根據實際情況選擇相應的檢測項目，以評估污水對環境和社會的影響。同時，為了保證多晶硅廢水處理設備準確可靠，檢測設備應該選擇有資質、有經驗的機構進行檢測。